| 摘要 |
열처리 공정에 있어서, 반응관의 지지 부재가 열수축했을 경우라도 반응관이 손상하는 일이 없는 열처리 장치를 제공한다. 열처리 장치(1)는 매니폴드(7)와, 매니폴드(7) 상에 적재되고 내관(4a)과, 외관(4b)을 갖는 반응관(4)을 구비하고 있다. 매니폴드(7)에, 내관(4a)을 적재하는 적재용 스테이지부(40)를 포함하는 받침 링(18)이 설치되어 있다. 내관(4a)의 하단부 외주에 오목부(44)가 형성되고, 받침 링(18)에 내관(4a)의 오목부(44)에 끼워져서 내관(4a)의 원주 방향의 위치 결정을 행하는 회전 롤러(35)가 설치되어 있다. |
