Surface Acoustic Wave Device and Surface Acoustic Wave Biosensor

摘要

표면탄성파 디바이스에 관한 기술로서, IDT 전극의 표면에 산화물 박막 및 소수성 박막을 형성함으로써, IDT 전극 간 단락을 방지할 수 있고 내전력성을 가지며, 대기, 수분, Cl 이온 등에 의한 부식 및 이에 따른 발진성능 저하를 방지할 수 있다.