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发明名称 对一光罩图样执行步进及扫瞄成像之微影装置
摘要 一种用于基体(W)上之光罩图样(c)之步进及扫瞄成像的微影投影装置。在扫瞄期间由无接触式量测系统等干涉仪系统(ISR，ISW)控制光罩(MA)及基体(W)的同步移动，而与这些系统有关的量测面(R1,r，R1,w)系由用于基体(W)及光罩(MA)的夹持器(WH，MH)的各面形成，所以有可能进行极准确的量测。（参见图13）
申请公布号 TW335505 申请公布日期 1998.07.01
申请号 TW086108886 申请日期 1997.06.25
申请人 艾斯门石版印刷公司 发明人 文丁布雷克玛尼斯亚特;斯塔杰尔亚历山大
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项
地址 荷兰
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