发明名称 CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP0059488(B1) 申请公布日期 1984.12.27
申请号 EP19820103121 申请日期 1979.07.20
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KAWAKAMI, KANJI;NISHIHARA, MOTOHISA;SHIMADA, SATOSHI
分类号 G01L9/12;G01L9/00;G01L13/02;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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