发明名称 |
AZIMUTHAL CUTTING METHOD OF SINGLE CRYSTAL INGOT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS62263009(A) |
申请公布日期 |
1987.11.16 |
申请号 |
JP19860107097 |
申请日期 |
1986.05.09 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
IINO TAKESHI |
分类号 |
B28D5/02;B28D1/22;B28D5/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B28D5/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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