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发明名称 PHOTORESIST MATERIALS
摘要
申请公布号 GB2196975(B) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 GB19870018598 申请日期 1987.08.06
申请人 * SONY CORPORATION 发明人 TSUTOMU * NOGUCHI;KEIICHI * NITO;JUNETSU * SETO
分类号 C08G8/04;C08G8/00;C08G8/08;C08G77/52;G03C1/00;G03C1/72;G03F7/022;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/312 主分类号 C08G8/04
代理机构 代理人
主权项
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