| 发明名称 |
FACE PLATE DEFECT DETECTION SYSTEM BY HETERODYNE SYSTEM AND INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02307046(A) |
申请公布日期 |
1990.12.20 |
| 申请号 |
JP19890128579 |
申请日期 |
1989.05.22 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
HACHIKAKE YASUO |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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