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经营范围
发明名称
VAPORIZATION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04160146(A)
申请公布日期
1992.06.03
申请号
JP19900283688
申请日期
1990.10.22
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
FUKAZAWA HIROYUKI
分类号
C23C14/24
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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