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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DUENNER SCHICHTEN DURCH PLASMA.
摘要
申请公布号 DE3686549(D1) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 DE19863686549 申请日期 1986.10.15
申请人 SOLEMS S.A., PALAISEAU, FR 发明人 SCHMITT, JACQUES, F-91620 LA VILLE DU BOIS, FR
分类号 C23C16/50;C23C16/515;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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