| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06252163(A) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
| 申请号 |
JP19930276484 |
申请日期 |
1993.11.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MOCHIZUKI KAZUHIRO;TAGAMI TOMONORI;MASUDA HIROSHI;HORIUCHI KATSUTADA;MISHIMA TOMOYOSHI;NAKAMURA TORU |
| 分类号 |
H01L21/203;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/78;H01L29/812;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/331;H01L29/784;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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