发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09213966(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960015068 申请日期 1996.01.31
申请人 SHARP CORP 发明人 SAITO HISAFUMI
分类号 G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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