发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10163332(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960320010 申请日期 1996.11.29
申请人 SONY CORP 发明人 OKUBO KENICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/822 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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