| 发明名称 |
BEAM CHAMBER FOR INSERTION LIGHT SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10162996(A) |
申请公布日期 |
1998.06.19 |
| 申请号 |
JP19960330345 |
申请日期 |
1996.11.26 |
| 申请人 |
KAWASAKI HEAVY IND LTD |
发明人 |
KAMIYA SHOJI;NIKOLAI MEZENZEV |
| 分类号 |
G21K1/093;H01S3/30;H05H7/14;H05H13/04;(IPC1-7):H05H13/04 |
主分类号 |
G21K1/093 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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