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EN UNA INSTALACION DE RECUBRIMIENTO DE VACIO PARA LA APLICACION DE CAPAS DELGADAS SOBRE SUBSTRATO (3,3'',...), CON UNA CAMARA (4) DE ENTRADA, AL MENOS UNA OTRA CAMARA (5) PARA EL TRATAMIENTO DEL SUBSTRATO (3,3'',...) Y CON UNA CAMARA (4) DE SALIDA ASI COMO CON UN EQUIPO (7) DE TRANSPORTE DISPUESTO EN UNA CAMARA (6) DE TRANSPORTE EVACUABLE PARA EL TRANSPORTE DEL SUBSTRATO (3,3'',...) A TRAVES DE LAS CAMARAS (4,5,6), SE HA PREVISTO UN EQUIPO (7) DE TRANSPORTE, QUE ESTA DISPUESTO ALREDEDOR DE UN EJE (8) CONJUNTO, Y MUESTRA SOPORTES (9,10) OSCILABLES ALREDEDOR DE ESTE EJE. EN AL MENOS DOS POSICIONES, ES DECIR EN UNA POSICION DE ENTRADA Y SALIDA Y EN UNA POSICION DE TRATAMIENTO SE DISPONE DE SOPORTES (9,10) RESPECTIVAMENTE CON UN MOVIMIENTO DE DESPLAZAMIENTO QUE SE EJECUTA CONTRA LA PARED (11) DE LA CAMARA (6) DE TRANSPORTE. ESTE MOVIMIENTO DE DESPLAZAMIENTO SE DIMENSIONA EN LA PRIMERA POSICION, DE FORMA QUE EL SOPORTE (10) EN LA POSICION ELEVADA CIERRA LA ABERTURA (17) DE LA CAMARA (4) DE ENTRADAY SALIDA EN LA PARED (11) DE LA CAMARA (3) DE TRANSPORTE. SOBRE CADA SOPORTE (9,10) ES ASENTABLE RESPECTIVAMENTE UN RECIPIENTE (12,13) EN FORMA DE COPA PARA LA RECEPCION SE UN SUBSTRATO (3,3'',...) Y EL SOPORTE (9) SE ELEVA EN LA ZONA DE LA POSICION (5) DE TRATAMIENTO DEL RECIPIENTE (12) DE MODO TAN AMPLIO, QUE EL BORDE (16) SUPERIOR DEL RECIPIENTE (12) SE COLOCA DE FORMA ESTANCA EN EL BORDE (14) DE LA ABERTURA PARA LA CAMARA (5) DE TRATAMIENTO.
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