发明名称 STUCK LIQUID REMOVAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11204490(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980004229 申请日期 1998.01.12
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 YOSHITANI MITSUAKI
分类号 H01L21/304;H05K3/00;H05K3/26;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址