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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH11248748(A)
申请公布日期
1999.09.17
申请号
JP19980053638
申请日期
1998.03.05
申请人
ADVANTEST CORP
发明人
YOSHIDA KENJI;KOJIMA AKIO
分类号
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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