| 发明名称 |
METHOD FOR MAKING A MACHINED SILICON MICRO-SENSOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0983609(A1) |
申请公布日期 |
2000.03.08 |
| 申请号 |
EP19980925745 |
申请日期 |
1998.05.19 |
| 申请人 |
THOMSON-CSF SEXTANT |
发明人 |
LEFORT, OLIVIER;THOMAS, ISABELLE |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;G01P15/125;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
