| 摘要 |
本发明的层叠压制装置，真空层叠装置及真空层叠方法的课题为提供一种运送基板的薄膜带的纵向皱褶不会造成基板上薄膜状材料平坦度的阻碍。其解决手段为层叠压制装置包含机板运送基板。基板运送机构具备上下一对的薄膜带7、8。一对薄膜带7、8可以使表面保持薄膜状材料的基板8保持在其间纵向移动。一对薄膜带7、8藉着一边纵向施加拉力一边使其移动，相对于压制部运出或运入基板8。层叠压制装置包含藉压制部夹持基板加压用的上侧及下侧加压块10、11。上侧及下侧加压块10、11分别具备对于一对薄膜带7、8施以横向拉力用的拉力赋予手段24、25。 |
