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发明名称 MESOPOROUS SILICA FILMS WITH MOBILE ION GETTERING AND ACCELERATED PROCESSING
摘要
申请公布号 KR100726523(B1) 申请公布日期 2007.06.11
申请号 KR20010019316 申请日期 2001.04.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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