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发明名称 微影装置
摘要 本发明之微影装置(1)包括一照射单元(3)。该照射单元(3)依序包括一辐射源单元(11)，一第一光学系统(5)和一光波导管(17)。该装置(1)另包括一第二光学系统(7)和一光罩台(9)。这装置适于将步进器模式与扫描器模式二者均列为可选用的模式，且另包括可在照射单元(11)运作时，使其具有一个缝隙宽度s可在smin和smax之间变化的缝隙形静态照射场域，同时可实质保持住这静态照射场域内之能量的装置。
申请公布号 TW339453 申请公布日期 1998.09.01
申请号 TW086107149 申请日期 1997.05.27
申请人 艾斯门石版印刷公司 发明人 文丁布雷克马尼斯亚特;杰斯比乔安尼斯克里斯丁玛利亚;默肯斯乔安尼斯凯萨尼纳胡伯特斯
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 模
地址 荷兰
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