| 摘要 |
개선된 플라즈마 강화 원자층 증착 (PEALD) 시스템 및 관련 동작 방법이 개시되어 있다. 진공 반응 챔버는, 미반응의 제 1 전구체를 포함하는 반응 챔버로부터의 제 1 유출물을, 제 2 전구체 및 제 2 전구체와 코팅 표면의 반응으로부터의 임의의 반응 부산물을 포함하는 반응 챔버로부터의 제 2 유출물과 분리하는 진공 시스템을 포함한다. 트랩 재료 표면을 포함하는 트랩은, 제 1 전구체가 트랩 재료의 표면과 반응할 때 제 1 유출물에서 제 1 전구체를 제거하기 위해 제공된다. 제 2 전구체가 플라즈마 생성 재료를 포함하는 경우, 제 2 전구체는 트랩을 통과하지 않는다. 교번의 제 2 전구체 공급원은 적합한 제 2 전구체를 트랩으로 주입하여 트랩 표면 상에 재료 증착층을 완료하며, 이로써 다음의 증착 사이클에서 제 1 전구체와 반응하기 위한 트랩 재료 표면을 준비한다. |
