| 摘要 |
본 발명은, 도포된 액적(液滴)의 양을 정확하게 계측하고, 양호한 정밀도로 토출량의 보정을 행할 수 있는 토출량 보정 방법 및 도포 장치에 대한 것으로서, 노즐로부터 토출된 액적 재료의 양을 측정하고, 토출량을 보정하는 토출량 보정 방법에 있어서, 피도포면의 근방에 피도포면과 소정 각도를 가지고 미러를 설치하고, 피도포면에 형성한 액적을 미러를 통하여 측방으로부터 촬상하고, 촬상한 액적의 화상에 기초하여 액적의 체적을 산출하고, 산출한 체적에 기초하여 토출량을 보정하는 것을 특징으로 하는 토출량 보정 방법 및 상기 방법을 실시하기 위한 장치를 제공한다. |
