发明名称 DISCHARGE LAMP CABLE FOR CONNECTION LIGHT SOURCE DEVICE AND EXPOSURE DEVICE
摘要 방전램프의 패럴부재에 대한 냉각작용이 큰 광원장치이다. 전원(32) 및 송풍장치(34) 측의 커넥터(41)와 방전램프(1)의 패럴 측 커넥터(52)를 전력케이블(33A) 내에 송풍배기관(35A)이 수납된 연결케이블(57)에 의해 연결한다. 전원(32)으로부터의 전력을 연결케이블(57)의 전력케이블(33A), 패럴 측 커넥터(52) 및 유로절곡부재(51)를 통하여 패럴부(28)로 공급하고, 송풍장치(34)로부터의 냉풍을 연결케이블(57)의 송풍용 배관(35A)과, 패럴 측 커넥터(52) 및 유로절곡부재(51) 내의 송풍로를 통하여 패럴부(28)의 홈부(28b)로 공급한다.
申请公布号 KR101643515(B1) 申请公布日期 2016.07.27
申请号 KR20157011013 申请日期 2008.04.03
申请人 가부시키가이샤 니콘 发明人 기쿠치 다카유키;기타노 히로시
分类号 F21V29/56;F21Y101/00;H01J5/54;H01J5/62;H01J61/52 主分类号 F21V29/56
代理机构 代理人
主权项
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