发明名称 Testvorrichtung
摘要 Testvorrichtung zum Testen eines Testobjekts, mit: einem Spannungszufuhrabschnitt, der eine dem Testobjekt zuzuführende Zufuhrspannung erzeugt; einem in einem Pfad zwischen dem Spannungszufuhrabschnitt und dem Testobjekt angeordneten induktiven Lastabschnitt; einem Gehäuseabschnitt, in dem ein Substrat aufgenommen ist, das mindestens einen induktiven Lastabschnitt aufweist; einem Verriegelungssteuerungsabschnitt, der einen Öffnungs-/Schließabschnitt, der es einer Bedienungsperson ermöglicht, auf das Substrat im Gehäuseabschnitt zuzugreifen, in einem verriegelten Zustand hält, wenn eine Spannung an einer vorgegebenen Stelle auf dem Substrat größer ist als eine vorgegebene Spannung, und einem Entladeschalter, der im induktiven Lastabschnitt gespeicherte Energie entlädt, nachdem ein Test beendet ist, wobei der Verriegelungssteuerungsabschnitt den Öffnungs-/Schließabschnitt im verriegelten Zustand hält, wenn Energie im induktiven Lastabschnitt verbleibt.
申请公布号 DE102011055530(B4) 申请公布日期 2016.09.08
申请号 DE20111055530 申请日期 2011.11.18
申请人 Advantest Corp. 发明人 Hashimoto, Kenji
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L29/739 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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