| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN PLASMA DE GRAND VOLUME HOMOGENE, DE GRANDE DENSITE ET DE FAIBLE TEMPERATURE ELECTRONIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2547692(B1) |
申请公布日期 |
1988.07.15 |
| 申请号 |
FR19830010116 |
申请日期 |
1983.06.15 |
| 申请人 |
CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE |
发明人 |
YVES ARNAL, JACQUES PELLETIER ET CLAUDE POMOT;PELLETIER JACQUES;POMOT CLAUDE |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/11;H05H1/18;(IPC1-7):H05H1/30;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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