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发明名称 METHOD OF FORMING POLYSILICON FILM DOPED WITH PHOSPHORUS IN LOW CONCENTRATION
摘要
申请公布号 JPH0234917(A) 申请公布日期 1990.02.05
申请号 JP19880185734 申请日期 1988.07.25
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 MIYA HIRONOBU
分类号 C30B29/06;C23C16/24;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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