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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH02218143(A)
申请公布日期
1990.08.30
申请号
JP19890038216
申请日期
1989.02.20
申请人
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP
发明人
AKASAKI HIROSHI;ISHIDA TAKASHI;OTSUKA KANJI
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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