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发明名称 IC TESTING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04326537(A) 申请公布日期 1992.11.16
申请号 JP19910096020 申请日期 1991.04.26
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MIYAMOTO YOSHIHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L23/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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