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发明名称 Manufacturing method of semiconductor memory devices.
摘要
申请公布号 EP0655778(A3) 申请公布日期 1996.01.03
申请号 EP19940118513 申请日期 1994.11.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 MIYAMOTO, KYOKO;NORO, FUMIHIKO
分类号 H01L21/336;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/788 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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