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经营范围
发明名称
SUBSTRATE ROTATION TYPE TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0957175(A)
申请公布日期
1997.03.04
申请号
JP19950237726
申请日期
1995.08.21
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD
发明人
YABE MANABU
分类号
B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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