Vorrichtung zur analytischen Überwachung eines Bades zur galvanotechnischen Behandlung von Substratoberflächen,申请号DE19971031184-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung zur analytischen Überwachung eines Bades zur galvanotechnischen Behandlung von Substratoberflächen
摘要
申请公布号	DE19731184(C2)	申请公布日期	1999.10.07
申请号	DE19971031184	申请日期	1997.07.10
申请人	ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH	发明人	BELE, MARJAN;BESENHARD, JUERGEN OTTO;PEJOVNIK, STANE;MEYER, HEINRICH
分类号	G01N27/26;C25D3/02;C25D5/54;C25D21/12;G01N27/60;G01N31/16;H05K3/00;H05K3/38;H05K3/42;(IPC1-7):C25D21/12;G01P5/08	主分类号	G01N27/26
代理机构		代理人
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