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发明名称 Verfahren und Anlage zur Behandlung von perfluorierten und hydrofluorkohlenwasserstoffhaltigen Gasen zu ihrer Vernichtung
摘要
申请公布号 DE69730280(D1) 申请公布日期 2004.09.23
申请号 DE19976030280 申请日期 1997.07.08
申请人 L'AIR LIQUIDE, S.A. A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EX 发明人 ROSTAING, JEAN-CHRISTOPHE;COEURET, FRANCOIS;DE SAINT ETIENNE, CLAUDE;MOISAN, MICHEL
分类号 B01D53/34;B01D53/32;B01D53/46;B01D53/54;B01D53/68;B01D53/70;(IPC1-7):B01D53/70 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
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