发明名称 涂布装置
摘要 涂布装置(1)系一边从复数个喷嘴(17)连续地吐出有机EL液,一边使涂布头(14)在主扫描方向上移动,藉此在测试涂布单元(2)之2个测试涂布平台部(21)上,分别对保持于胶带保持部上的树脂胶带之测试涂布面涂布有机EL液。然后,根据由CCD相机(13)所取得的测试涂布面上之有机EL液图案之影像来检测喷嘴间距,并根据检测结果,利用间距调整机构(3)来调整复数个喷嘴(17)于副扫描方向上的间距。藉此,可高精度地调整涂布装置(1)之复数个喷嘴(17)于副扫描方向上之间距,而无需于基板(9)上涂布有机EL液。
申请公布号 TW200924858 申请公布日期 2009.06.16
申请号 TW097106432 申请日期 2008.02.25
申请人 大日本斯克琳制造股份有限公司 发明人 小濑弘和;上野雅敏
分类号 B05C5/00(2006.01);B05C21/00(2006.01);B05D1/02(2006.01);B05B9/03(2006.01);H05B33/10(2006.01) 主分类号 B05C5/00(2006.01)
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 日本