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发明名称 CONTACTS OF SEMICONDUCTOR MATERIAL FOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 GB2070860(A) 申请公布日期 1981.09.09
申请号 GB19810013447 申请日期 1979.02.09
申请人 NIPPON ELECTRIC CO LTD 发明人
分类号 H01L21/32;H01L21/321;H01L21/3215;H01L21/60;H01L21/762;H01L27/06;H01L27/07;H01L29/04;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/40 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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