| 发明名称 |
MAGNETRONKATHODESPUTTERSYSTEEM. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8202092(A) |
申请公布日期 |
1983.12.16 |
| 申请号 |
NL19820002092 |
申请日期 |
1982.05.21 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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