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发明名称
DEVICE FOR COOLING OBJECT IN VACUUM SHIELDING BODY
摘要
申请公布号
JPH04325678(A)
申请公布日期
1992.11.16
申请号
JP19910122709
申请日期
1991.04.25
申请人
EBARA CORP
发明人
KOGURE NAOAKI;MATSUMURA MASAO
分类号
C23C14/50;H01L21/265
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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