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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0510365(Y2)
申请公布日期
1993.03.15
申请号
JP19880089105U
申请日期
1988.07.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/603;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/603
主分类号
H01L21/603
代理机构
代理人
主权项
地址
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