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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07130682(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930297258 申请日期 1993.11.02
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 MURAI ICHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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