发明名称 CONTACT PROBE ARRANGEMENT
摘要
申请公布号 JPH09178774(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19960274481 申请日期 1996.10.17
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP (IBM) 发明人 BAIERU TOOMASU;GURESHIYUNERU DOKUTORU YOHAN;MAISUNERU KURAUSU;SHIYUTAINERU BERUNERU;SUTOOERU ROORANDO
分类号 G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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