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经营范围
发明名称
Polishing composition
摘要
申请公布号
EP0781822(A3)
申请公布日期
1997.12.03
申请号
EP19960309318
申请日期
1996.12.19
申请人
SYMBIOS LOGIC INC.
发明人
ALLMAN, DERRYL D.J.;CROSBY, WILLIAM J.;MAIOLO, JAMES A.
分类号
B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;(IPC1-7):C09G1/02
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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