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发明名称
PLASMA DRY CLEANER
摘要
申请公布号
JPH10324981(A)
申请公布日期
1998.12.08
申请号
JP19970150471
申请日期
1997.05.23
申请人
SAMUKO INTERNATL KENKYUSHO:KK
发明人
TATSUTA TOSHIAKI;SAWAI MIKIO;TSUJI OSAMU
分类号
C23F4/00;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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