发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11233614(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980029998 申请日期 1998.02.12
申请人 NEC CORP 发明人 KAZAMA KENYA
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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