液晶面板之闸极线的形成方法及其结构

摘要

钕化铝(AlNd)与氮钕化铝(AlNdN)这两种材质对铝蚀刻液的蚀刻速率不同，因此造成知技艺中，液晶面板闸极线的AlNd／AlNdN双层结构会有屋檐效应。而此屋檐效应的现象会造成氮化矽层覆盖不易、尖端放电所造成的耐压电压值下降、秃出部分下方的空洞及堆积杂质而导致缺陷或腐蚀的现象等问题。本发明在基板上形成AlNd线，再利用氮气电浆，使氮气扩散进入AlNd线表面，以达到于AlNd线表面形成AlNdN层的目的。因此可以避免因蚀刻速率不同而产生的屋檐效应及其延伸的问题。