| 摘要 |
利用滤色材料来形成一用于液晶单元(26)之柱间隔物(25)。利用光微影法来由一滤色材料层(15)界定该柱间隔物(25)之至少一部分(15a)及一对应像素滤色器(15b)，其中一包含透明、半色调及不透明区域之图案的光罩(8)被用来界定同时具有两种不同厚度t1、t2之结构。使用半色调光罩(8)使得：对柱间隔物部分(15a)之厚度及因此柱间隔物(25)之最后高度的界定可无关于滤色器(15b)之厚度。可利用多个半色调光罩(8)来形成柱间隔物(25)，以便界定一个以上之滤色材料层(15、23)，而使得比率t1／t2可保持在一预定界限内。该等柱间隔物(25)较佳远离于薄膜电晶体(TFT)(31)，且位于列与行电极(32、33)之交会处。 |
