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发明名称 APPARATUS FOR CONTROLLING WORKING MOTOR OF LOADLOCK CHAMBER
摘要
申请公布号 KR100620166(B1) 申请公布日期 2006.09.01
申请号 KR20020086230 申请日期 2002.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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