| 主权项 |
1.一种方法,包含步骤:量度一第一组成件之顶表面上之一第一特色及一第二组成件之顶表面上之一第二特色间以第一及第二特色之影像为基础之对齐偏差,其中,第一组成件由一装置保持固定,该装置适于接受及保持第一组成件,及产生随该偏差而定之一信号,以影响第一特色及第二特色之对齐。2.如申请专利范围第1项所述之方法,其中,该影像为根据光影像所产生之电子影像。3.如申请专利范围第2项所述之方法,其中,该光影像由一镜反射。4.如申请专利范围第1项所述之方法,另包含步骤:根据该信号,调整第一组成件与第二组成件之相关位置。5.如申请专利范围第1项所述之方法,其中,所量得之偏差包含在大致平行于第一组成件之该顶表面之一平面中之偏差量度値。6.如申请专利范围第5项所述之方法,其中,所量得之偏差包含对垂直于该平面之一轴线之偏差量度値。7.如申请专利范围第1项所述之方法,另包含步骤:黏接第一及第二组成件一起。8.如申请专利范围第7项所述之方法,另包含步骤:根据黏合一起之第一及第二组成件上之第一及第二特色之影像,量度第一组成件之顶表面上之第一特色及第二组成件之顶表面上之第二特色间之对齐偏差。9.一种包含一第一组成件黏接于第二组成件上之产品之生产方法:量度第一组成件之顶表面上之一第一特色及第二组成件之顶表面上之一第二特色间对齐偏差,其中,该量度方法系以第一及第二特色之影像为根据,其中第一组成件由一装置保持固定,该装置适于接受及保持第一组成件,产生视该偏差而定之一信号,根据该信号,调整第一组成件与第二组成件相关之位置,及黏接第一及第二组成件一起。10.如申请专利范围第9项所述之方法,其中,该影像为根据光影像所产生之电子影像。11.如申请专利范围第10项所述之方法,其中,该光影像由一镜反射。12.一种系统,包含:一工具,适于保持及接受一第一组成件,第一组成件包含在第一组成件之顶表面上之一第一特色,其中,当该工具保持第一组成件固定时,第一特色可由一造像系统侦测,其中,第一特色应与第二组成件之顶表面上之一第二特色对齐,该造像系统用以产生第一特色及第二特色之影像。13.如申请专利范围第12项所述之系统,其中,该造像系统量度第一组成件之顶表面上之第一特色及第二组成件之顶表面上之第二特色间之对齐偏差。14.如申请专利范围第13项所述之系统,其中,该造像系统产生随该偏差而定之一信号。15.如申请专利范围第12项所述之系统,另包含:定位装置,用以依据该信号,定置第一组成件与第二组成件之关系位置。16.如申请专利范围第12项所述之系统,另包含:加热装置,用以黏接第一及第二组成件一起。17.如申请专利范围第12项所述之系统,其中,该造像系统包含:一感测器,用以根据一光影像,产生一电子影像,及一观察系统,用以分析该电子影像。18.如申请专利范围第12项所述之系统,其中,该造像系统另包含一镜,其中,该镜反射一光影像于该感测器上。19.一种方法,包含步骤:量度一第一组成件之顶表面上之一第一特色及一第二组成件之顶表面上之一第二特色间以第一及第二特色之一影像为根据之对齐偏差,其中,第一组成件及第二组成件黏接一起,及产生随该偏差而定之一信号,以影响第一及第二特色间之对齐。20.如申请专利范围第19项所述之方法,其中,该影像为根据光影像所产生之电子影像。21.如申请专利范围第20项所述之方法,其中,该光影像由一镜反射。22.如申请专利范围第19项所述之方法,其中,所量得之偏差包含在大致平行于第一组成件之该顶表面之一平面中之偏差量度値。23.如申请专利范围第22项所述之方法,其中,所量得之偏差包含对垂直于该平面之一轴线之偏差量度値。24.一种制造一装置之方法,其中,该装置包含一第一组成件及一第二组成件,该方法包含步骤:量度一第一组成件之顶表面上之一第一特色及一第二组成件之顶表面上之一第二特色间以第一及第二特色之一影像为根据之对齐偏差,其中,第一组成件由一装置保持固定,该装置适于接受及保持第一组成件,及产生随该偏差而定之一信号,以影响第一及第二特色间之对齐。25.如申请专利范围第24项所述之方法,其中,该影像为根据光影像所产生之电子影像。26.如申请专利范围第25项所述之方法,其中,该光影像由一镜反射。27.如申请专利范围第24项所述之方法,另包含步骤:根据该信号,调整第一组成件与第二组成件相关之位置。28.如申请专利范围第24项所述之方法,其中,所量得之偏差包含在大致平行于第一组成件之该顶表面之一平面中之偏差量度値。29.如申请专利范围第28项所述之方法,其中,所量得之偏差包含对垂直于该平面之一轴线之偏差量度値。30.如申请专利范围第24项所述之方法,另包含步骤:黏接第一及第二组成件一起。31.如申请专利范围第20项所述之方法,另包含步骤:根据黏接一起之第一及第二特色之影像,量度第一组成件之顶表面上之第一特色及第二组成件之顶表面上之第二特色间之对齐偏差。图式简单说明:第一图显示用以黏接组成件之一模黏接装置。第二图为第一图组成件之顶视图。第三图显示用以对齐及黏接组成件之本发明装置之一实施例之侧视图。第四图A为本发明装置之一部份之斜视图。第四图B为本发明装置之一部份之顶视图。第五图为用以对齐及黏接组成件之本发明方法之步骤之流程图。 |
