WET METHOD FOR THE PRODUCTION OF THIN FILMS

摘要

본 발명은, 전이 금속 산화물 전구체, 킬레이트제 및 극성 유기 용매를 함유하는 용액을 제조하는 단계, 졸을 형성하기 위해 용액을 교반 하에 유지하는 단계, 및 졸을 전이 금속 산화막 형태로 사용하는 단계를 포함하는, 박막 제조 방법에 관한 것이다. 이 방법은 킬레이트제가 디- 또는 트리- 지방족 카르복실산, 또는 그 염 또는 혼합물 중에서 선택되고, 극성 유기 용매가 대기압에서 150℃ 미만의 비등점을 갖는 것을 특징으로 한다.