| 摘要 |
Пристрій для отримання покриттів із хімічних сполук належить до електронної техніки та технології, а більш конкретно - до способів та пристроїв осадження покриттів у вакуумі або розрідженому середовищі, і може використовуватися для нанесення покриттів із хімічних сполук в середовищі активних газів. Нанесення покриттів реалізується за допомогою пристрою, до складу якого входить вакуумна технологічна камера, аксіальна газорозрядна електронна гармата, система автоматичного керування струмом гармати, система автоматичного контролю тиску в технологічній камері, радіаційний нагрівач підкладки та електрод у вигляді сітки, розташованої біля підкладки. При цьому аксіальна газорозрядна електронна гармата, з'єднана з вакуумною технологічною камерою через канал з обмеженою пропускною спроможністю проходження газу, на якому розміщені магнітні котушки для фокусування та сканування електронного пучка, а до корпусу аксіальної газорозрядної гармати приєднаний електромагнітний натікач газу для регулювання струму розряду гармати. На протилежній від гармати стороні вакуумної технологічної камери розміщений затвор системи автоматичного контролю тиску газу в камері, а радіаційний нагрівач підкладки виконаний регульованим відносно парціального тиску газу у вакуумній технологічній камері. Технічним результатом є отримання якісних конденсованих шарів із хімічно активних матеріалів (оксидів або сульфідів) стехіометричного складу. |
