VORRICHTUNG ZUR FEINEINSTELLUNG,申请号DE19762617312-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG ZUR FEINEINSTELLUNG
摘要
申请公布号	DE2617312(A1)	申请公布日期	1976.11.04
申请号	DE19762617312	申请日期	1976.04.21
申请人	NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE PUBLIC CORP.	发明人	YAMAZAKI,SHIN-ICHI;ASAKAWA,MAKOTO;SAITO,TADAO
分类号	H01J37/20;B23Q1/36;B23Q1/62;G03F7/20;G03F9/00;G05B19/39;G05B19/402;G05D3/00;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/68;H02K41/00;(IPC1-7):G12B5/00;B25H1/10	主分类号	H01J37/20
代理机构		代理人
主权项
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