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发明名称
摘要
申请公布号
JPS633155(Y2)
申请公布日期
1988.01.26
申请号
JP19870035255U
申请日期
1987.03.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/18;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/18
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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